MEMS掃描鏡是一種的矢量掃描設備，能使入射光束按照特定的方式與時(shí)間順序發(fā)生反射，從而在像面上實(shí)現掃描成像.傳統的MEMS掃描鏡體積大、成本高，且多為散裝，大大限制了其應用。相較于傳統的掃描鏡，MEMS掃描鏡具有尺寸小、成本低、掃描頻率高、響應速度快和功耗低等優(yōu)點(diǎn)，以被廣泛的應用在光通信、掃描成像、激光雷達、內窺鏡、3D掃描成像等領(lǐng)域。

MEMS掃描鏡按照掃描維度不同，可以分為一維掃描鏡和二維掃描鏡，一維掃描鏡是指在鏡面在一個(gè)維度內偏轉，二維掃描鏡是指沿著(zhù)兩個(gè)方向同時(shí)對光束進(jìn)行調節。實(shí)現二維掃描，可以選用兩個(gè)一維的掃描鏡，也可以選用兩個(gè)一個(gè)二維的掃描鏡。相比較而言二維掃描鏡功能更強大，但是結構也更復雜，控制的難度也就越大。

MEMS掃描鏡按照驅動(dòng)方式的不同，可以分為靜電驅動(dòng)、電磁驅動(dòng)、壓電驅動(dòng)和電熱驅動(dòng)四種驅動(dòng)方式。電熱驅動(dòng)是，利用電能轉換為熱能，再轉換為機械能驅動(dòng)，其優(yōu)點(diǎn)是驅動(dòng)力和驅動(dòng)位移較大，但是響應速度較慢。壓電驅動(dòng)是利用壓電材料的壓電效應實(shí)現驅動(dòng)，具有驅動(dòng)力大、響應速度快等優(yōu)點(diǎn)，但是壓電材料存在遲滯現象。電磁驅動(dòng)是利用電磁或者永磁體實(shí)現驅動(dòng)，具有較大的驅動(dòng)力力和驅動(dòng)位移，但是響應速度偏慢，且容易受到電磁干擾。靜電驅動(dòng)是利用帶電導體間的靜電作用力實(shí)現驅動(dòng)，具有功耗低、速度快、兼容性好等優(yōu)點(diǎn)。是目前使用zui廣泛的驅動(dòng)方式。