白光干涉儀優(yōu)勢：
 

　　價(jià)格優(yōu)勢：市場(chǎng)上性?xún)r(jià)比的白光干涉儀。
 

　　簡(jiǎn)單易用：只需將樣品放置于樣品臺上，即可直接進(jìn)行測量；
 

　　可以測量非接觸式非平坦樣品：由于光學(xué)輪廓測量法是一種非接觸式技術(shù)，可以輕松測量彎曲和其他非平面表面。還輕松地測量曲面的表面光潔度，紋理和粗糙度。除此之外，作為一種非接觸式方法光學(xué)輪廓儀不會(huì )像探針式輪廓儀那樣損壞柔軟的薄膜。
 

　　無(wú)需更換耗材：只需要一個(gè)LED光源，無(wú)需其他配件更換；
 

　　可視化3D功能：Xper WLI輪廓儀具有強大的處理軟件，軟件除包括表面粗糙度，形狀和臺階高度的測量外，還可以任意角度移動(dòng)樣品量測三維圖形，多角度分析樣品圖像。
 

　　白光干涉儀應用領(lǐng)域：

 

　　納米尺度的厚度和輪廓檢測
 

　　WLI和PSI模式轉換
 

　　工業(yè)應用：樣品和輪廓檢測
 

　　樣品類(lèi)型：半導體晶圓，納米器件，生物材料，MEMS:微電子機械系統，lED發(fā)光二極管