六軸位移臺參數解讀

六足運動(dòng)平臺在運動(dòng)控制領(lǐng)域有著(zhù)悠久的應用歷史，但近年來(lái)，傳統的6自由度(6-DOF)定位設備在面對行業(yè)對更高精度、更高可重復性和更好的幾何性能的需求時(shí)顯得有些不足?，F對一些ALIO位移臺參數細節做一些解讀，以便您理解ALIO六自由度位移臺對于傳統六足位移臺的提升。

準確度（accuracy）

準確度是指在特定三維空間中，實(shí)際位置與通過(guò)測量設備測量的位置之間的差異。對于測量設備而言，準確度受到反饋機制（如ALIO六軸位移臺的光柵尺增量編碼器）、驅動(dòng)機構（如滾珠螺桿、導桿、線(xiàn)性電機）以及軸承路徑的準確性的影響。

重復度（Repeatability）

可重復性被定義為在相同條件下，系統重復地被命令到同一位置時(shí)所達到的位置范圍。單向可重復性通過(guò)從一個(gè)方向接近該點(diǎn)進(jìn)行測量。雙向可重復性是測量系統能夠從兩個(gè)方向返回到該點(diǎn)的能力。

分辨率（Resolution）

分辨率被定義為系統的zui小可識別位移量。也分辨率由反饋裝置確定。

zui小步長(cháng)（Minimum Incremental Step Size）

被定義為系統的zui小可行移動(dòng)量，也被稱(chēng)為步進(jìn)大小。

俯仰（Pitch）：

俯仰是圍繞水平平面上與行進(jìn)方向垂直的軸的旋轉。如果所測量的感興趣位置不位于旋轉中心，則俯仰旋轉會(huì )引起兩個(gè)維度上的阿貝誤差。對于X軸，俯仰旋轉會(huì )在X方向和Z方向上引起阿貝誤差。對于Y軸，俯仰旋轉會(huì )在Y方向和Z方向上引起阿貝誤差。這些誤差的大小可以通過(guò)將偏移距離的長(cháng)度乘以旋轉角度的正弦值和1減旋轉角度的余弦值來(lái)確定

橫滾（Roll）：

橫滾是圍繞與行進(jìn)方向平行的水平平面上的軸進(jìn)行的旋轉。如果所測量的感興趣位置不位于旋轉中心，則橫滾旋轉會(huì )引起兩個(gè)維度上的阿貝誤差。對于X軸，橫滾旋轉會(huì )在Y方向和Z方向上引起阿貝誤差。對于Y軸，橫滾旋轉會(huì )在X方向和Z方向上引起阿貝誤差。這些誤差的大小可以通過(guò)將偏移距離的長(cháng)度乘以旋轉角度的正弦值和余弦值來(lái)計算。

偏航（Yaw）：

偏航是圍繞與行進(jìn)方向垂直的垂直平面上的軸進(jìn)行的旋轉，即Z軸。如果所測量的感興趣位置不位于旋轉中心，則偏航旋轉會(huì )引起兩個(gè)維度上的阿貝誤差。對于X軸或Y軸臺。

回程誤差（Backlash）：

回程誤差是由行進(jìn)方向反轉引起的定位誤差。反向間隙是在行進(jìn)方向反轉時(shí)不會(huì )產(chǎn)生位置變化的指令運動(dòng)部分。反向間隙是由傳動(dòng)系中元素之間的間隙引起的。隨著(zhù)間隙的增加，產(chǎn)生運動(dòng)所需的輸入量也會(huì )增加。間隙的增加導致反向間隙誤差增加。反向間隙也會(huì )影響雙向可重復性。ALIO位移臺從系統設計上避免萬(wàn)向節消除了回程誤差，大大提升位移臺整體性能。

直線(xiàn)度（Straightness）：

直線(xiàn)度是指在水平平面上，相對于行進(jìn)方向的真實(shí)行進(jìn)線(xiàn)路的偏差。平整度是指在垂直方向上，相對于行進(jìn)方向的真實(shí)行進(jìn)線(xiàn)路的偏差。對于A(yíng)LIO位移臺，直線(xiàn)度和平整度參數都與位移臺的安裝表面有關(guān)，請聯(lián)系昊量光電了解詳情。

跳動(dòng)（runout）:

跳動(dòng)是旋轉機械系統的不準確性，特別是工具或軸沒(méi)有wan 全與主軸線(xiàn)一致地旋轉。例如; 鉆孔時(shí)，由于鉆頭偏心旋轉（離軸而不是成一直線(xiàn)），跳動(dòng)會(huì )導致孔大于鉆頭的標稱(chēng)直徑。對于軸承，跳動(dòng)會(huì )導致機器振動(dòng)并增加軸承負載。

跳動(dòng)有兩種主要形式：

徑向跳動(dòng)（Radial runout）：由于工具在平行于機器軸線(xiàn)的情況下發(fā)生平移，徑向跳動(dòng)沿機器軸線(xiàn)的各個(gè)點(diǎn)測量結果相同。

軸向跳動(dòng)（Axial runout）：由于工具或零件與軸線(xiàn)有角度，導致工具（或軸）jian 端相對于基準位置偏離中心旋轉。軸向跳動(dòng)的大小取決于測量點(diǎn)與基準位置的距離。

ALIO的6-D 納米精度工作臺的核心是串聯(lián)和平行運動(dòng)學(xué)的結合，這使得傳統的六足運動(dòng)學(xué)過(guò)時(shí)了，在精度、路徑性能、速度、剛度和更大的工作范圍(幾乎無(wú)限的XY行程，wan全可編程的工具中心點(diǎn)位置)方面都有數量級的改進(jìn)。

ALIO的Hybrid Hexapod®具有小于100納米的3維6軸點(diǎn)精度重復性，使其成為激光加工、光學(xué)檢測、光電子、半導體、計量和醫療設備領(lǐng)域以及所有微加工項目的關(guān)鍵任務(wù)應用的關(guān)鍵技術(shù)。

關(guān)于昊量光電：

上海昊量光電設備有限公司是光電產(chǎn)品專(zhuān)業(yè)代理商，產(chǎn)品包括各類(lèi)激光器、光電調制器、光學(xué)測量設備、光學(xué)元件等，涉及應用涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫療、科學(xué)研究、國防、量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、激光制造等；可為客戶(hù)提供完整的設備安裝，培訓，硬件開(kāi)發(fā)，軟件開(kāi)發(fā)，系統集成等服務(wù)。