一篇文章看懂：什么是SENIS集成3軸磁傳感器？

為了測量電磁鐵和永  jiu磁鐵產(chǎn)生的從 10-6 到 102 T 的非均勻磁通密度，通常使用帶霍爾探頭的特斯拉計。為了同時(shí)測量磁通密度的三個(gè)正交分量，需要使用三軸霍爾探頭。根據目前傳統的的技術(shù)水平，三軸霍爾探頭由三個(gè)霍爾板組成，這三個(gè)霍爾板分別位于一個(gè)小立方體的三個(gè)相互正交的面上。單個(gè)霍爾板的尺寸及其定位公差嚴重限制了可實(shí)現的空間分辨率和測量磁通密度矢量的角度精度。此外，連接霍爾裝置的導線(xiàn)中的電磁感應也限制了這種霍爾探頭的有用帶寬。此外，平面霍爾效應通常會(huì )產(chǎn)生額外的誤差。在基于量子阱的霍爾板中，平面霍爾效應很弱，但問(wèn)題依然存在。

為了解決這個(gè)問(wèn)題，在一個(gè)點(diǎn)上檢測三個(gè)方向的磁性。SENIS開(kāi)發(fā)了一種劃時(shí)代的“集成3軸磁傳感器"，使之成為可能。這就是“集成的三軸磁傳感器"。 該傳感器可以在所有情況下測量精確的3D矢量，例如永磁體的鄰近磁場(chǎng)、小線(xiàn)圈產(chǎn)生的磁場(chǎng)和時(shí)間變化，這在過(guò)去是不可能的。

圖1. 傳統的霍爾片3軸探頭（左）和SENIS集成3軸磁傳感器（右）

一、 專(zhuān)li技術(shù)的SENIS集成3軸磁傳感器

二、 SENIS集成三軸磁傳感器的功能

除了磁傳感器外，集成的3軸磁傳感器還集成了偏置電路和放大器，以提高頻率特性和抗噪性，甚至在寬度僅為 0.64 m 的單個(gè)芯片上集成了溫度傳感器，用于因溫度變化而進(jìn)行靈敏度校正。

1.敏感區域僅為0.15mm × 0.1mm × 0.15mm

2.3個(gè)方向相對角度誤差在±0.1以?xún)?/p>

3.頻率響應：高達25Khz（-3db）

4.溫度特性±100ppm/°C

三、 SENIS集成三軸磁傳感器放大圖

四．SENIS集成三軸磁傳感器詳細信息

圖2. 磁性傳感器內部有5個(gè)感磁區域。通過(guò)取BZ1和BZ2的平均值，虛擬地求出By傳感器位置的Bz磁場(chǎng)。同樣地，通過(guò)取Bx1和Bx2平均值來(lái)求出By傳感器位置的Bx磁場(chǎng)，可在同一點(diǎn)上收集Bx、By、Bz。

五．搭配SENIS集成三軸磁傳感器的霍爾探頭類(lèi)型：

六．搭配SENIS集成三軸磁傳感器的高斯計/特斯拉計匯總類(lèi)型：

SENIS數字特斯拉計/高斯計基于SENIS®的模擬磁場(chǎng)傳感器電子設備，其頂部添加了數字模塊，具有顯示器，通信端口，數字數據校正等。SENTIS提供不同類(lèi)型的特斯拉計，具有不同的磁性分辨率，精度，f帶寬，噪聲水平和功能和處理選項（手持式，臺式，機架式）

3MH3特斯拉計，適用于工業(yè)和實(shí)驗室應用，具有良好的精度，分辨率和f帶寬

3MH6臺式特斯拉計，用于實(shí)驗室應用，具有非常高的分辨率和精度以及良好的f帶寬

3MTS 手持式特斯拉計，探頭支架堅固，精度高

1 軸、2 軸或 3 軸 Nanoteslameter 3NTA1，用于極低磁場(chǎng)

SENIS®已通過(guò)ISO 9001和ISO 22301（業(yè)務(wù)連續性管理）認證。我們的校準實(shí)驗室已通過(guò)ISO17025：2017認證。

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