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昊量光電喜獲法國Microlight3D DMD無(wú)掩模光刻機的獨代!

更新時(shí)間:2023-02-10 點(diǎn)擊次數:4290

 

喜報!昊量光電喜獲法國Microlight3D DMD無(wú)掩模光刻機獨家代理。

 

上海昊量光電設備有限公司自2023年1月1日正式成為Microlight3D公司SMART PRINT UV系列DMD無(wú)掩光刻系統的中國區獨家代理商,此次獲得Microlight3D的授權,體現了Microlight3D對上海昊量光電設備有限公司市場(chǎng)銷(xiāo)售的專(zhuān)業(yè)度及售后技術(shù)支持力量的高度認可。我們將一如既往的為國內廣大用戶(hù)提供更為優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。

 

Microlight3D成立于2016年,在格勒諾布爾阿爾卑斯大學(xué)(Université Grenoble Alpes,UGA)進(jìn)行了長(cháng)達15年的3D微型打印技術(shù)研發(fā)。格勒諾布爾阿爾卑斯大學(xué)創(chuàng )建于1339年,是一所擁有近七百年歷史的國立綜合研究型大學(xué),是歐洲最古老的大學(xué)之一,教學(xué)科研實(shí)力處于法國頂尖、世 界一流水平。作為具有世界影響力的法國公立大學(xué),格勒諾布爾-阿爾卑斯大學(xué)先后誕生過(guò)3位諾貝爾獎獲得者(克勞斯·馮·克利青、路易·奈爾、熱拉爾·穆魯),1位圖靈獎獲得者(約瑟夫·斯發(fā)基斯)。

 

Microlight3D公司一直在快速發(fā)展,得益于Smart Print UV System在各地的實(shí)驗室和公立私立研究中心的大量銷(xiāo)售。

 

Microlight3D公司推出的DMD無(wú)掩模光刻系統Smart Print UV系列,是一種基于DMD投影技術(shù)的無(wú)掩模光刻設備,可兼容多種抗蝕劑和基材。Smart Print UV可以在微米分辨率下產(chǎn)生任何2D形狀,而不需要硬掩模。

 

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Smart PrintUV系統特點(diǎn):

 

最小特征尺寸1.5um

可更換目標的可調節寫(xiě)入區域和分辨率

兼容CAD文件及bitmap文件

兼容SU-8、g線(xiàn)、h 線(xiàn)、i 線(xiàn)等絕大部分光刻膠

兼容多種基材(硅、玻璃、柔性薄膜、金屬、塑料等)

兼容多種樣品尺寸:2''4''晶圓、4''5''方形或者定制更大尺寸、顯微鏡矩形載玻片、14mm25mm圓形載玻片

反饋相機:聚焦,對齊,準直

手動(dòng)旋轉臺:360°可旋轉,精度 0.1°

 

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桌面型,占地空間小

曝光速度相比同類(lèi)型產(chǎn)品更快!

ji具性?xún)r(jià)比!

軟件操作和設備維護簡(jiǎn)單!

交貨周期短!

可免費打樣!

 

Smart PrintUV功能選件:

 

1X Objective 磁吸快速更換鏡頭

10.6 mm x 5.9 mm FOV and 15 µm resolution

5X Objective 磁吸快速更換鏡頭

2.1 mm x 1.2 mm FOV and 3 µm resolution

10X Objective 磁吸快速更換鏡頭

1.06 mm x 0.59 mm FOV and 1.5 resolution

 

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4" 晶圓樣品支架

玻璃載玻片樣品支架

 

圖片4.png

 

多用途大型樣品支架

兼容4" & 5" 方形基板, 2" & 4" 晶圓, 顯微鏡載玻片, 14 mm & 25 mm 圓形載玻片

 

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定制化樣品支架

根據客戶(hù)要求,可適應更大樣品尺寸多個(gè)樣品;兼容柔性膜材基底New!

保修期延期

設備保修期2年,軟件免費升級2


Smart PrintUV核心規格

 

型號

SP-UV.Standard

SP-UV.Advanced

光源

曝光波長(cháng):385nm;校準波長(cháng):590nm

最小特征尺寸

1.5um

度(1cm2區域)

2um

1um

拼接精度

2um

1um

最大曝光范圍

70×70mm2

110×110mm2

尺寸

4英寸(wafer)

5英寸(方形)

寫(xiě)入速度

77mm2/min

220mm2/min

系統尺寸

長(cháng)××高:52(cm)×52(cm)×69(cm)

軟件包:

電腦

Windows 10Pro, 24inch屏幕

SFTprint軟件

機器控制、步進(jìn)重復、自動(dòng)劑量測試、拼接、對齊

SFT轉換器

將標準CAD格式(gdsii、dxf、cif、oas)轉換為機器格式;包含CAD軟件

鏡頭選項:

物鏡

1X

2.5X

5X

10X

寫(xiě)入區域(mm

10.56×5.94

4.2×2.4

2.1×1.2

1.06×0.59

最小線(xiàn)寬(um

15

6

3

1.5

 








Smart PrintUV應用領(lǐng)域:


 

Smart Print UV需要制作表面微圖案、微結構的任何應用領(lǐng)域的wan美設計,如MEMS,微流體,二維材料,自旋電子學(xué),生物技術(shù)和微電子。

 

Microlight3D公司還有另外一款明星產(chǎn)品-雙光子聚合3D納米光刻機。

2007年,第一代雙光子聚合3D納米光刻機microFAB-3D問(wèn)世,在中國大陸、中國臺灣和歐洲地區有大量的銷(xiāo)售。

2018年,公司獲得了法國研究與創(chuàng )新部頒發(fā)的公共研究領(lǐng)域最 ju創(chuàng )新力年輕公司獎。

2019年,推出了第一代緊湊型桌面式雙光子聚合3D納米光刻機。

       2019年,Microlight3D完quan收購了無(wú)掩模光刻系統制造商SmartForceTechnologies。

 

圖片6.png

 

未來(lái),上海昊量光電設備有限公司將獲得Microlight3D更多的資源支持,昊量光電也將繼續秉承互利共贏(yíng)的發(fā)展理念,充分發(fā)揮自身強大的專(zhuān)業(yè)技術(shù)溝通和服務(wù)優(yōu)勢,力爭為國內MEMS,微流體,二維材料,自旋電子學(xué),生物技術(shù)和微電子等應用領(lǐng)域的研究和推廣貢獻一份力量,滿(mǎn)足并不斷超越客戶(hù)的期望,致力于為國內前沿的科研與工業(yè)領(lǐng)域提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù),助力中國智造與中國創(chuàng )造。

歡迎繼續關(guān)注上海昊量光電的各大媒體平臺,我們將不定期推出各種產(chǎn)品介紹與技術(shù)新聞。


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關(guān)于昊量光電:

上海昊量光電設備有限公司是光電產(chǎn)品專(zhuān)業(yè)代理商,產(chǎn)品包括各類(lèi)激光器、光電調制器、光學(xué)測量設備、光學(xué)元件等,涉及應用涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫療、科學(xué)研究、國防、量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、激光制造等;可為客戶(hù)提供完整的設備安裝,培訓,硬件開(kāi)發(fā),軟件開(kāi)發(fā),系統集成等服務(wù)。

 

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