金年会金字招牌诚信至上_精密定位系統/平移臺/掃描-上海昊量光電設備有限公司

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精密定位系統/平移臺/掃描

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高精度微型振鏡/壓電掃描鏡
高精度微型振鏡/壓電掃描鏡該系統是一個(gè)完整的光束控制系統。在緊湊的體積（直徑12mm）中包含壓電馬達、位置傳感器、軸承以及內置控制器。在微型振鏡上安裝了一個(gè)鍍鋁膜的鏡子，每秒可旋轉1100°，精度可達到0.025°。

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顯微鏡物鏡掃描臺
顯微鏡物鏡掃描臺：上海昊量推出的物鏡掃描臺采用壓電陶瓷直推，以柔性鉸鏈為導向使物鏡掃描臺具有結構緊湊、體積小、無(wú)機械摩擦、定位分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，采用硅位移傳感器，物鏡掃描臺相比于傳統的電容式位移傳感器，物鏡掃描臺硅傳感器使平移臺擁有更高的精度和線(xiàn)性度以及較低的底噪。物鏡掃描臺的精度可以達到亞納米，底噪低至10pm。

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大功率/高壓壓電促動(dòng)器精密定位平臺
大功率/高壓壓電促動(dòng)器精密定位平臺，昊量光電推出各種大功率/高壓壓電促動(dòng)器產(chǎn)品，具有高負載力，高共振頻率，大行程等特點(diǎn)，是材料表征，傳感器測試，脈沖發(fā)生等領(lǐng)域的有力工具。

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半導體/薄膜無(wú)損檢測儀
半導體/薄膜無(wú)損檢測儀：半導體行業(yè)為我們周?chē)龅降拇蠖鄶惦娮釉O備提供了基本組件。它的制造需要在硅晶片上進(jìn)行多次薄膜沉積，。

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納米精度電動(dòng)平移臺。
納米精度電動(dòng)平移臺。電控位移臺也稱(chēng)為電控平移臺是一種依靠步進(jìn)電機驅動(dòng)的執行裝置，通過(guò)絲杠將步進(jìn)電機的角位移轉換為平臺位移。通常情況下該系統由三部分組成：位移臺、電機和控制器。驅動(dòng)電機及控制器主要決定驅動(dòng)扭矩、分辨率、加減速度、信號處理等性能參數。位移臺則是系統的心臟，主要指標參數有位移精度、行程、負載、穩定性、適用環(huán)境等。

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納米精度電動(dòng)升降臺.
納米精度電動(dòng)升降臺.，電控位移臺也稱(chēng)為電控平移臺是一種依靠步進(jìn)電機驅動(dòng)的執行裝置，通過(guò)絲杠將步進(jìn)電機的角位移轉換為平臺位移。通常情況下該系統由三部分組成：位移臺、電機和控制器。驅動(dòng)電機及控制器主要決定驅動(dòng)扭矩、分辨率、加減速度、信號處理等性能參數。位移臺則是系統的心臟，主要指標參數有位移精度、行程、負載、穩定性、適用環(huán)境等。

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壓電馬達線(xiàn)性平移臺
U-XLS系列壓電馬達線(xiàn)性平移臺擁有*的特點(diǎn)。該平移臺是一款兼具大行程和高精度的壓電馬達位移平臺。$n該平移臺采用無(wú)聲的超聲波馬達，超聲波馬達是通過(guò)一個(gè)耦合元件抵住移動(dòng)導向轉子，在高頻電流下壓電陶瓷促動(dòng)器被激發(fā)產(chǎn)生超聲波振動(dòng)，促動(dòng)器的變形使耦合元件相對于轉子產(chǎn)生周期性的對角運動(dòng)，每個(gè)循環(huán)的進(jìn)給為幾個(gè)納米，高頻的信號，可以使轉子高速的運動(dòng)。因此AU-XLS系列壓電馬達平移臺的Z大速度可達到400m

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超小型亞微米AF自動(dòng)聚焦模塊
超小型亞微米AF自動(dòng)聚焦模塊是集成了微型壓電馬達、內置控制器、位移傳感器和微處理器于一體的微機械模塊。

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單軸壓電掃描臺/納米平移臺
單軸壓電掃描臺/納米平移臺采用壓電陶瓷直推驅動(dòng)，以柔性鉸鏈為運動(dòng)副，使其結構緊湊、擁有小的體積、無(wú)摩擦、無(wú)間隙、定位分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。

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超緊湊線(xiàn)性平移臺（亞微米）
超緊湊線(xiàn)性平移臺（亞微米）是集動(dòng)力系統、反饋系統和控制系統于一身的微機械系統。在緊湊的空間中（29 x 20 x 10 mm）包含一個(gè)世界上Z小的壓電馬達和IC驅動(dòng)、非接觸式磁感應陣列位置傳感器和PID控制器。

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