超緊湊線(xiàn)性平移臺（亞微米）

AU- M3-LS精密壓電線(xiàn)性微動(dòng)臺是集動(dòng)力系統、反饋系統和控制系統于一身的微機械系統。在緊湊的空間中（29 x 20 x 10 mm）包含一個(gè)世界上zui小的壓電馬達和IC驅動(dòng)、非接觸式磁感應陣列位置傳感器和PID控制器。

超緊湊線(xiàn)性平移臺（亞微米）

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①  AU-M3-LS采用SQL-RV-1.8微型壓降直線(xiàn)微電機系統。該動(dòng)力系統主要包括目前世界上zui小的壓電SQL-RV-1.8壓降直線(xiàn)微電機（2.8 x 2.8 x 6 mm）和業(yè)界內zui小的壓電馬達NSD-2101驅動(dòng)IC（1.8 x 1.8 mm）。集成到定制模塊上可以提供之前難以想象的運動(dòng)性能。該直線(xiàn)微電機馬達擁有較小的體積但可以提供更大的功率和穩定性。分辨率為0.5mm，精度是電磁馬達的十倍。該馬達沒(méi)有齒輪和凸輪，直接提供直線(xiàn)移動(dòng)的動(dòng)力，并采用自鎖設計，只有移動(dòng)的時(shí)候才會(huì )耗電。因此比同等電磁馬達的功耗降低40%。NSD-2101驅動(dòng)是把輸入的直流電轉換為高頻交流電來(lái)控制馬達。并且可以通過(guò)I2C串行接口接受來(lái)自系統的指令。

②  AU-M3-LS超小型線(xiàn)性微動(dòng)臺為閉環(huán)的運動(dòng)系統。采用NSE-5310位置傳感器，分辨率可達到0.5mm。該傳感器芯片上集成數字編碼器的磁傳感器陣列，將磁性正弦波轉換為數字直接輸出。芯片上編碼使用標準I2C協(xié)議提供直接數字輸出，無(wú)需外部脈沖計數器。高效的控制系統通信在單個(gè)I2C總線(xiàn)上zui多允許兩個(gè)位置傳感器。另外該傳感器對外部環(huán)境不敏感，可適用于光照、沖擊、振動(dòng)等條件。

③ AU-M3-LS超緊湊型線(xiàn)性微動(dòng)臺不需要外部控制器。該模塊將PID控制器集成到電路板上，只需要通過(guò)標準的I2C 或者SPI接口輸入簡(jiǎn)單的串行命令就可以驅動(dòng)該控制器?？梢酝ㄟ^(guò)USB連接電腦，直接通過(guò)軟件控制該微動(dòng)臺的運動(dòng)。操作簡(jiǎn)單使用方便。

此外該微動(dòng)臺多個(gè)可組合成多軸運動(dòng)的微動(dòng)臺。兩個(gè)可以組合成X-Y軸運動(dòng)的平臺，三個(gè)可組合成X-Y-Z的多軸微動(dòng)臺。

u  產(chǎn)品主要特點(diǎn)

• 超小體積 （29 x 20 x 10 mm）
• 無(wú)需外加控制器
• 大行程（6mm）
• 高分辨率（0.5mm）
• 堅固性?xún)?yōu)
• 高重復性
• 低功耗 （工作時(shí)<o.7W）
• 可組成多軸微動(dòng)臺
• 可直接從USB適配運行

u  主要應用

手持和便攜設備、便攜式醫療設備、微型顯微鏡、光譜學(xué)、微器件裝配、生物醫學(xué)探測和抽樣、高分辨率調諧系統、無(wú)人機/地面車(chē)輛控制和光學(xué)、微型相機系統等。

u  主要參數