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納米級高速大行程壓電馬達平移臺

AU-XLS系列壓電馬達線(xiàn)性平移臺擁有*的特點(diǎn)。該平移臺是一款兼具大行程和高精度的壓電馬達位移平臺。

該平移臺采用無(wú)聲的超聲波馬達，超聲波馬達是通過(guò)一個(gè)耦合元件抵住移動(dòng)導向轉子，在高頻電流下壓電陶瓷促動(dòng)器被激發(fā)產(chǎn)生超聲波振動(dòng)，促動(dòng)器的變形使耦合元件相對于轉子產(chǎn)生周期性的對角運動(dòng)，每個(gè)循環(huán)的進(jìn)給為幾個(gè)納米，高頻的信號，可以使轉子高速的運動(dòng)。因此AU-XLS系列壓電馬達平移臺的zui大速度可達到400mm/s。

理論上壓電馬達平移臺的行程僅取決于轉子的長(cháng)度，因此AU-XLS系列位移平臺可提供的行程范圍可達94mm，采用線(xiàn)性編碼器位置傳感器閉環(huán)控制，使位移平臺的位移分辨率可達到78nm，在滿(mǎn)足大行程的同時(shí)實(shí)現了高的精度。由于壓電陶瓷已經(jīng)加載了預加力，因此斷電之后平移臺會(huì )有自鎖功能，使位移平臺依然保持在原位。這樣可以減少了能源的消耗和產(chǎn)熱量，提高了位移平臺的精度。

此外，由于該平臺采用模塊化設計，因此該平移臺可以組成多維位移平臺，并且可以提供真空兼容和非磁位移平臺。

主要特點(diǎn)：

l  大行程 （92mm）

l  高精度（78nm）

l  高速度（400mm/s）

l  支持斷電自鎖

l  可在真空和非磁環(huán)境

主要應用：

l  光電子學(xué)

l  掃描電子顯微鏡

l  半導體生產(chǎn)

l  醫學(xué)和材料科學(xué)

l  生命科學(xué)與生物技術(shù)學(xué)

l  顯微鏡和計量學(xué)

產(chǎn)品參數：

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納米級高速大行程壓電馬達平移臺

AU-XLS系列壓電馬達線(xiàn)性平移臺擁有*的特點(diǎn)。該平移臺是一款兼具大行程和高精度的壓電馬達位移平臺。

該平移臺采用無(wú)聲的超聲波馬達，超聲波馬達是通過(guò)一個(gè)耦合元件抵住移動(dòng)導向轉子，在高頻電流下壓電陶瓷促動(dòng)器被激發(fā)產(chǎn)生超聲波振動(dòng)，促動(dòng)器的變形使耦合元件相對于轉子產(chǎn)生周期性的對角運動(dòng)，每個(gè)循環(huán)的進(jìn)給為幾個(gè)納米，高頻的信號，可以使轉子高速的運動(dòng)。因此AU-XLS系列壓電馬達平移臺的zui大速度可達到400mm/s。

理論上壓電馬達平移臺的行程僅取決于轉子的長(cháng)度，因此AU-XLS系列位移平臺可提供的行程范圍可達94mm，采用線(xiàn)性編碼器位置傳感器閉環(huán)控制，使位移平臺的位移分辨率可達到78nm，在滿(mǎn)足大行程的同時(shí)實(shí)現了高的精度。由于壓電陶瓷已經(jīng)加載了預加力，因此斷電之后平移臺會(huì )有自鎖功能，使位移平臺依然保持在原位。這樣可以減少了能源的消耗和產(chǎn)熱量，提高了位移平臺的精度。

此外，由于該平臺采用模塊化設計，因此該平移臺可以組成多維位移平臺，并且可以提供真空兼容和非磁位移平臺。

主要特點(diǎn)：

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