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大載重量二維壓電平移臺
上海昊量光電設備有限公司推出的二維平移臺主要是為在計量學(xué)中樣品的精確操控和顯微鏡等應用而設計的。推出的二維平移臺主要分為以下兩種。
1). 緊湊型二維壓電馬達平移臺AUXY-XLS
AUXY-XLS由兩個(gè)AU-XLS平移臺組成，而且不需要額外的適配板。因為其由兩個(gè)AU-XLS一維位移平臺組成，該位移臺采用無(wú)聲的超聲馬達，在提供大的行程的同時(shí)擁有較高的精度。該平臺使用壽命長(cháng)、快速（400mm/s）、無(wú)噪聲、斷電自鎖等特點(diǎn)。
2).大推力二維壓電平移臺AUXY-XSS
AUXY-XSS掃描臺是對高精度和高重復性要求的大載重量顯微鏡和計量應用設計的。該平臺在載重量超過(guò)20kg時(shí)仍可提供亞微米的精度和高的穩定性。該位移臺由壓電促動(dòng)器和光學(xué)編碼器組成，當您需要移動(dòng)大的部件并要求納米級的精度和超低的穩定時(shí)間時(shí)，AUXY-XSS是該要求的*解決方案，并且該款平移臺可以根據客戶(hù)的要求進(jìn)行定制。
主要特點(diǎn)
l 大行程 （92mm）
l 大載重量（20kg）
l 高精度（78nm）
l 高速度（400mm/s）
l 支持斷電自鎖
l 可在真空和非磁環(huán)境
主要應用
l 光電子學(xué)
l 掃描電子顯微鏡
l 半導體生產(chǎn)
l 醫學(xué)和材料科學(xué)
l 生命科學(xué)與生物技術(shù)學(xué)
l 顯微鏡和計量學(xué)
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