納米精度電動(dòng)升降臺.

納米精度，大行程電控升降臺！

所屬類(lèi)別：光機產(chǎn)品/精密定位控制系統 » 電動(dòng)平移臺

技術(shù)服務(wù)人員：李工(William)

納米精度電動(dòng)升降臺.

電控位移臺也稱(chēng)為電控平移臺是一種依靠步進(jìn)電機驅動(dòng)的執行裝置，通過(guò)絲杠將步進(jìn)電機的角位移轉換為平臺位移。通常情況下該系統由三部分組成：位移臺、電機和控制器。驅動(dòng)電機及控制器主要決定驅動(dòng)扭矩、分辨率、加減速度、信號處理等性能參數。位移臺則是系統的心臟，主要指標參數有位移精度、行程、負載、穩定性、適用環(huán)境等。

上海昊量光電設備有限公司推出的電動(dòng)升降臺傳動(dòng)螺桿采用滾珠絲杠實(shí)現高速平穩運動(dòng)，*的螺桿品質(zhì)使平移臺擁有的分辨率、定位精度。采用超高等級交叉滾珠導軌+LM滑軌，在確保了升降臺，具有超高的運動(dòng)性能。該系統采用光柵尺閉環(huán)控制，在確保大行程的同時(shí)，分辨率達到了10nm。按照定位精度區分，我司電動(dòng)升降臺可分為 10納米精度位移臺和亞微米精度位移臺兩種類(lèi)型。

1）10nm精度電控升降臺

該系類(lèi)電控位移臺是擁有10nm分辨率的閉環(huán)反饋定位系統?？梢蕴峁┭卮怪狈较虻木芤苿?dòng)與定位。其采用光學(xué)線(xiàn)性位置編碼器，在提供大行程的同時(shí)，使設備擁有較高的精度。該產(chǎn)品采用滾珠絲杠驅動(dòng)和LM滑軌+交叉滾珠導軌導向，確保了升降臺的精度及線(xiàn)性度。目前該產(chǎn)品提供5mm和10mm兩種不同行程的電控位移臺。

2）亞微米分辨率電控升降臺

該系類(lèi)位移平臺是指分辨率可達到亞微米精度的精密運動(dòng)系統。該系統也是光學(xué)編碼閉環(huán)控制，精度可達到50-100nm，可提供5mm和10mm不同行程的電控位移臺。

此外這兩種版本的升降臺可提供真空條件下使用的版本，可適用的的真空條件為10-4Pa，真空度約為10-6 Torr。

• 主要特點(diǎn)

• 高分辨率
• 高重復定位精度
• 采用滾珠絲杠，實(shí)現高精度定位
• 采用高等級交叉滾珠導軌，具有超高運動(dòng)性能

u  主要應用

超精密激光加工、超精密三維掃描測量、全自動(dòng)計量?jì)x器檢測設備、工業(yè)自動(dòng)化等領(lǐng)域。

• 主要參數：

亞微米電控平移臺參數：

納米電控平移臺參數：