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大負載主動(dòng)氣浮桌腿型光學(xué)平臺隔振器
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
明立精機的MAPS 系列產(chǎn)品的除振系統是在精巧的形狀中加入垂直與水平用的氣壓驅動(dòng)器而構成的組裝型除振裝置。使用1 組4 個(gè)的話(huà),對應全自由度的振動(dòng),能發(fā)揮出優(yōu)秀的除振性能、制振性能、定位性能等。
產(chǎn)品特點(diǎn)
MAPS 可以消除被動(dòng)除振的困難頻段的振動(dòng)
標準的MAPS 可除振10 噸以上的設備
搭載工件等移動(dòng)裝置也不會(huì )搖擺
MAPS 具有優(yōu)秀的精確定位及精密校平性能
MAPS 是小型易操作的組合型系列
MAPS 是構成精密設備的一個(gè)重要部分
應用領(lǐng)域
半導體制造,激光加工等
主要規格和參數表