| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),電子,交通,航天 |
高低溫真空探針臺
高低溫真空探針臺概述
M5VC真空探針臺可實(shí)現高真空環(huán)境下的高溫及低溫電學(xué)性能測量，真空腔一體成型，具有設計合理，真空度穩定，溫控精度及機械精度高等特點(diǎn)；根據測試溫度范圍不同，可單選高溫或低溫等相應組件，溫度可達到1000℃，低溫部分采用液氮或液氦冷卻組件，溫度可低至77K/10K，；真空系統可選機械泵或分子泵系統，真空度可達到10-3Torr或10-6Tor。
應用
可應用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測樣品的電學(xué)性能測試分析，如：半導體/微電子，電子，機電，物理，化學(xué)，材料，光電，納米，微機電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域，以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。
技術(shù)參數
顯微鏡配置 顯微鏡/視頻顯微鏡
顯微鏡 放大倍數50倍
視頻成像配置 CCD成像系統，放大倍數300倍
樣品臺尺寸80mm 漏電電流<10fA
真空室真空度 10-3Torr (10-6Torr或更高可選)
探針座配置 x/y/z行程40mm 精度 1μm
探針配置 尺寸 0.5X30mm 材質(zhì) 金
溫度范圍 77K-570K 液氮制冷 10K-570K 液氦制冷 溫度可到1000K
觀(guān)察窗尺寸 100mm
真空系統 機械泵或分子泵
接口配置 三同軸
測試源表 連接各類(lèi)測試源表，并可進(jìn)行相應的軟件二次開(kāi)發(fā)，加大系統整合性及測試穩定性
上海市徐匯區虹梅路2007號6號樓3樓
info@auniontech.com
