| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應用領(lǐng)域 | 醫療衛生,生物產(chǎn)業(yè),電子,交通,航天 |
高精度微型六維位移臺
昊量光電設備有限公司推出的六足位移平臺是基于線(xiàn)性平臺模組開(kāi)發(fā)的六維運動(dòng)控制系統。該平臺可提供六個(gè)自由度控制（XYZ和繞三個(gè)軸的旋轉）。與常規的六足平臺相比該平臺，該平臺體積更緊湊，擁有較高的剛度和較低的運動(dòng)質(zhì)量，并且客戶(hù)可以自定義虛擬運動(dòng)軸點(diǎn)。
由于平臺均采用模塊化設計，因此其運動(dòng)尺寸和作用力可以根據需求的不同做定制，行程可從幾厘米到一米，分辨率可達到納米量級。
產(chǎn)品擁有以下特點(diǎn)：
1）擁有六個(gè)自由度
平臺是一個(gè)并聯(lián)運動(dòng)納米操作系統，不同于常規的堆疊設計，該平臺由多個(gè)線(xiàn)性平臺同時(shí)運動(dòng)驅動(dòng)。定位器的平行設置優(yōu)化了整個(gè)系統的剛度，并允許控制所有六個(gè)自由度（X,Y,Z,俯仰，偏航和旋轉）
2）用戶(hù)可自定義軸心點(diǎn)
可自由設置軸心點(diǎn)，可繞空間任意一點(diǎn)旋轉
3）多選項
高&超高真空兼容
非磁材料
抗紫外線(xiàn)材料
4）高分辨率和重復精度
無(wú)反向空回的機械設計使該系統與線(xiàn)性平臺有相同的量級的性能，分辨率可達到1nm和1μrad，X,Y,Z的雙向可重復性可達到200nm，旋轉重復精度可達10μrad，對于小行程重復精度會(huì )更高。
上海昊量提供的六維調節架主要包含以下幾款產(chǎn)品。
Positioner Series | 70.42 | 115.25 | 110.45 | 225.75 | P-SLC-17 | P-SLC-24 | P-SLL | Wafer-2000 | |
Picture |  |  |  |  |  |  |  |  | |
Travel (mm) | X | 10 | 11 | 20 | 41 | 48 | 79 to 119 | 20 to 1200 | 200 |
Y | 10 | 11 | 20 | 41 | 28 to 48 | 45 to 119 | 45 to 119 | 200 | |
Z | 5 | 5 | 11 | 21 | ≤9 | ≤12 | ≤16 | 10 | |
Rotation(°） | Qx | 14 | 18 | 21 | 20 | ≤28 | ≤31 | ≤42 | 6 |
Qy | 16 | 20 | 24 | 23 | ≤26 | ≤27 | ≤33 | 7 | |
Qz | 28 | 37 | 38 | 41 | ≤20 | ≤42 | ≤42 | 24 | |
repeatability forfull travel range | nm | <±200 | <±200 | <±200 | <±200 | <±200 | <±200 | <±200 | <±200 |
μrad | <±10 | <±10 | <±10 | <±10 | <±10 | <±10 | <±10 | <±10 | |
max. vertical load [N] | 5 | 5 | 5 | 10 | 5 | 10 | 10 | 20 | |
max. horizontal load [N] | 2.5 | 2.5 | 2.5 | 5 | 2.5 | 5 | 5 | ||
dimension [mm2] | F70 | F115 | F110 | F225 | 110´50 | 110´90 | 250´80 | 420´430 | |
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