| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應用領(lǐng)域 | 醫療衛生,生物產(chǎn)業(yè),電子 |
納米平移臺（壓電馬達型，10-1500mm行程）
XLS系列線(xiàn)性位移平臺，是由超聲波壓電馬達驅動(dòng)，可提供不同行程的精確定位。由于采用超聲波壓電馬達驅動(dòng)，速度可達到200mm/s，并且該平臺非常適用于掃描，可提供恒定的掃描速度，速度不穩定性低于2%。
該平臺采用超聲波馬達，對于這種馬達平臺的運動(dòng)是通過(guò)接觸點(diǎn)的橢圓振蕩產(chǎn)生。如下圖所示。通過(guò)橢圓的振蕩推動(dòng)平臺產(chǎn)生微小移動(dòng)，并通過(guò)高頻率產(chǎn)生*的速度，并且沒(méi)有噪聲，電機在定位后可產(chǎn)生自鎖，由于馬達在橢圓振蕩的上端才會(huì )與平臺接觸，大大提高平臺的使用壽命通常在10-100km。
XLS系列平臺可提供不同的行程，行程范圍可達到100mm。為了適應不同精度要求的應用，平臺集成不同精度的位置傳感器，目前可提供的位置傳感器有1.25μm；330nm；78nm和1nm具體參數如下圖所示：
此外根據不同應用可以選擇不同行程的平臺，可提供平臺行程參數如下：
此外，由于該平臺采用模塊化設計，可以組成多維位移平臺，例如：XY;XYZ,XYQ等。并且可以提供真空兼容和非磁位移平臺。
主要特點(diǎn)：
l 大行程 （100mm）
l 高精度（25nm）
l 高速度（100mm/s）
l 支持斷電自鎖
l 可在真空和非磁環(huán)境
主要應用：
l 光電子學(xué)
l 掃描電子顯微鏡
l 半導體生產(chǎn)
l 醫學(xué)和材料科學(xué)
l 生命科學(xué)與生物技術(shù)學(xué)
l 顯微鏡和計量學(xué)
納米平移臺（壓電馬達型，10-1500mm行程）
上海市徐匯區虹梅路2007號6號樓3樓
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