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高精度位移測量?jì)x-激光干涉儀

簡(jiǎn)要描述:昊量光電推出的PICOSCALE位移測量?jì)x產(chǎn)品是基于激光干涉方法設計的非接觸式位移和振動(dòng)測量設備。因為不需要物理接觸,所以測量不會(huì )影響物體。這尤其適用于較小的物體,它們的動(dòng)力學(xué)很容易受到傳統測量探頭的影響。微位移測量?jì)x廣泛應用于定位技術(shù)中,可以在pm分辨率下位移跟蹤定位。高精度位移測量?jì)x-激光干涉儀

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  • 更新時(shí)間:2021-06-02
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高精度位移測量?jì)x-激光干涉儀

昊量光電推出的PICOSCALE位移測量?jì)x產(chǎn)品是基于激光干涉方法設計的非接觸式位移和振動(dòng)測量設備。因為不需要物理接觸,所以測量不會(huì )影響物體。這尤其適用于較小的物體,它們的動(dòng)力學(xué)很容易受到傳統測量探頭的影響。微位移測量?jì)x廣泛應用于定位技術(shù)中,可以在pm分辨率下位移跟蹤定位。我們提供可用于一般用途或優(yōu)化特定的任務(wù)的各種傳感頭,如角度或差分測量。此外,我們提供用于真空、低溫或其他惡劣環(huán)境的傳感器頭。由于它們的緊湊性,它們幾乎適用于所有的設置。

除了測量位移,位移測量激光干涉儀還可用于描述運動(dòng)過(guò)程中的動(dòng)態(tài)性能。由于位置數據是在非常高的帶寬下測量的,因此可以實(shí)時(shí)準確地識別振動(dòng),并進(jìn)行詳細的振動(dòng)模態(tài)分析。

基本原理:

所有的PICOSCALE高精度位移測量?jì)x都基于邁克爾遜干涉儀,這是一種測量位移和振動(dòng)的精確方法。邁克爾遜干涉儀由一個(gè)波長(cháng)穩定激光器、一個(gè)分束器、一個(gè)目標和一個(gè)參考鏡組成。在分束器上,來(lái)自激光的光被分成兩支。一只手臂指向目標表面,另一只手臂指向參考鏡。當兩臂的光分別被目標表面和參考鏡反射后,再回到分束器。這里,兩條手臂重新組合,發(fā)生了干涉。干涉信號包含目標表面相對于參考鏡的位移信息。

高精度位移測量?jì)x-激光干涉儀

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