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白光干涉儀

簡(jiǎn)要描述:Xper WLI 是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過(guò)系統軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數,從而實(shí)現器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。白光干涉儀

  • 產(chǎn)品型號:Xper WLI
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2021-06-02
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:1685
詳細介紹
品牌其他品牌產(chǎn)地類(lèi)別進(jìn)口
應用領(lǐng)域醫療衛生,生物產(chǎn)業(yè),電子,航天,綜合

白光干涉儀

Xper WLI 是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過(guò)系統軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數,從而實(shí)現器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。

 

優(yōu)勢:

價(jià)格優(yōu)勢:市場(chǎng)上性?xún)r(jià)比的白光干涉儀。

簡(jiǎn)單易用:只需將樣品放置于樣品臺上,即可直接進(jìn)行測量;

可以測量非接觸式非平坦樣品:由于光學(xué)輪廓測量法是一種非接觸式技術(shù),可以輕松測量彎曲和其他非平面表面。還輕松地測量曲面的表面光潔度,紋理和粗糙度。除此之外,作為一種非接觸式方法光學(xué)輪廓儀不會(huì )像探針式輪廓儀那樣損壞柔軟的薄膜。

無(wú)需更換耗材:只需要一個(gè)LED光源,無(wú)需其他配件更換;

可視化3D功能:Xper WLI輪廓儀具有強大的處理軟件,軟件除包括表面粗糙度,形狀和臺階高度的測量外,還可以任意角度移動(dòng)樣品量測三維圖形,多角度分析樣品圖像。

 

應用領(lǐng)域:

納米尺度的厚度和輪廓檢測

WLI和PSI模式轉換

工業(yè)應用:樣品和輪廓檢測

樣品類(lèi)型:半導體晶圓,納米器件,生物材料,MEMS:微電子機械系統,lED發(fā)光二極管

規格

原理:白光干涉原理

用途:表面三維剖面測量,表面粗糙度測量

Z軸分辨率:1.75nm 

CCD 分辨率:2464*2056

掃描范圍:30 μm

物鏡:10X, 20X, 50X, 100X

照明:LED

PSI模式濾光片組件:532,633nm(可見(jiàn)光范圍:400-750nm) 

軟件功能:自動(dòng)實(shí)驗條件設置

后期處理:平滑處理/ z軸控制因子設置/偏移控制,X / Y軸輪廓提取

 

成像案例:

半導體器件

牙齒表面分析

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