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陰極發(fā)光儀/顯微鏡

簡(jiǎn)要描述:昊量光電新推出用于微電子、半導體、絕緣材料、地質(zhì)學(xué)和礦物學(xué)材料測量的法國NewTec陰極射線(xiàn)顯微鏡。陰極發(fā)光是一種光譜方法,它可以在局部尺度上識別缺陷和雜質(zhì),這些缺陷和雜質(zhì)與被電子槍轟擊的材料的發(fā)光特性有關(guān)。陰極發(fā)光儀/顯微鏡

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2021-06-23
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陰極發(fā)光儀/陰極發(fā)光顯微鏡

昊量光電新推出用于微電子、半導體、絕緣材料、地質(zhì)學(xué)和礦物學(xué)材料測量的法國NewTec陰極射線(xiàn)顯微鏡。陰極發(fā)光是一種光譜方法,它可以在局部尺度上識別缺陷和雜質(zhì),這些缺陷和雜質(zhì)與被電子槍轟擊的材料的發(fā)光特性有關(guān)。陰極發(fā)光儀/陰極發(fā)光顯微鏡

 

 

陰極射線(xiàn)顯微鏡組成:

  • 配有相機的光學(xué)顯微鏡(低亮度)

  • 裝有電動(dòng)樣品支架的真空室

  • 雙層真空泵及附件

  • 帶電纜電子槍

  • 電源控制器及控制軟件

 

陰極射線(xiàn)顯微鏡特點(diǎn):

  • 等離子體穩定控制

  • 自動(dòng)擊發(fā)

  • 半定量測量

  • 分光計定量測量

  • 極限空間分辨率<1um

  • 可選項:加熱and/or冷卻

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