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DMD無(wú)掩膜光刻機

簡(jiǎn)要描述:DMD無(wú)掩膜光刻機SMART PRINT UV是一種基于DMD投影技術(shù)的無(wú)掩模光刻設備,可兼容多種電阻和基片。SMART PRINT UV可以生產(chǎn)任何微米分辨率的二維形狀,而不需要硬掩模。

  • 產(chǎn)品型號:SMART PRINT UV
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2021-06-23
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:2471
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應用領(lǐng)域電子主要特性兼容i、h、g線(xiàn)光刻膠

DMD無(wú)掩膜光刻機

DMD無(wú)掩膜光刻機SMART PRINT UV是一種基于DMD投影技術(shù)的無(wú)掩模光刻設備,可兼容多種電阻和基片。SMART PRINT UV可以生產(chǎn)任何微米分辨率的二維形狀,而不需要硬掩模。基于改進(jìn)后的標準投影技術(shù),投影出具有微米分辨率的圖像,無(wú)掩膜光刻機SmartPrint無(wú)需任何進(jìn)一步步驟,就能直接從數字掩模光刻出您要的圖。無(wú)掩膜光刻機SmartPrint主要應用是微流體,生物技術(shù)和微電子等領(lǐng)域光刻表面微納圖案。

 

DMD無(wú)掩膜光刻機主要特性:

兼容i、h、g線(xiàn)光刻膠

SmartPrint-UV配備了385 nm LED源,以兼容標準i, h和g線(xiàn)光刻膠,如SU8或AZ®1500系列

 

適用于各種各樣的基材

我們的物鏡范圍經(jīng)過(guò)精心選擇,具有較長(cháng)的工作距離(高達3厘米),使SP-UV成為一種非接觸式技術(shù),因此兼容非標準基材(非平的,靈活的,厚的)。

 

可調直寫(xiě)范圍和分辨率——用戶(hù)可獲得四種不同的直寫(xiě)分辨率      

 優(yōu)直寫(xiě)分辨率1.5um                                                                     

                                     

 

兼容任何尺寸的樣品,最大5平方英寸                                         

對齊方式直觀(guān)——反饋相機與第二束590nm準直光源疊加使用

                       

 

體積小,性?xún)r(jià)比高

 

DMD無(wú)掩膜光刻機應用領(lǐng)域:

               

 光器件         微流控         微電子

 

DMD無(wú)掩膜光刻機指標參數:

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