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應用領(lǐng)域 | 電子 |
皮米精度位移激光干涉儀
昊量光電推出的皮米精度位移干涉測量?jì)xquDIS是對納米級別的位移波動(dòng)進(jìn)行量測的理想儀器,基于其*的測量原理,相對距離的重復精度達到了50皮米。quDIS可同時(shí)支持三個(gè)測量通道,使其可以適用于任意的多軸測量中。quDIS在原理上同樣采用激光干涉法,不過(guò)與傳統激光干涉儀相比,其集成了法珀腔(Reference cavity)及飽和吸收氣室(GC)作為頻率校準參考,通過(guò)激光波長(cháng)調諧掃描,比較兩種不同的干涉圖樣,可以實(shí)現其它設備所不具有的絕對距離測量,基于這種測量方式,使得quDIS相對其他產(chǎn)品測量距離可以達到20M的同時(shí)保持高精度,且與信號對比度和強度無(wú)關(guān),由于使用整個(gè)干涉模式來(lái)提取位移信息,因此不存在非線(xiàn)性誤差。此外,quDIS不僅可以獲得位置、速度和加速度等信息,折射率、反射率或表面傾斜度等信息也可以從實(shí)時(shí)信號中提取得到。
皮米精度位移激光干涉儀產(chǎn)品特點(diǎn):
多維度多通道位移干涉器,操作簡(jiǎn)單,即插即用
相對距離和絕對距離測量
完善的全套系統配置
實(shí)時(shí)輸出數字化圖像
針對不同應用提供各種傳感接頭及反射模塊組合解決方案
長(cháng)期使用保證穩定性
兼容真空與各種惡劣環(huán)境
皮米精度位移激光干涉儀*優(yōu)勢:
絕對距離高精度測量!
不存在非線(xiàn)性及周期性誤差!
相對距離信號穩定性<0.05nm!
工作距離最大20m(與傳感頭相關(guān))
目標最大速度1m/s
三個(gè)傳感接口,可實(shí)現多設備同步
探測器分辨率達到1pm
皮米精度位移激光干涉儀應用領(lǐng)域:
極限環(huán)境下振動(dòng)分析
緩慢漂移及熱膨脹檢測
精密設備位置控制
納米級位移測量
層狀結構中間隙和邊緣的測量
位移和振動(dòng)精度評估
皮米精度位置測量?jì)x參數列表:
干涉儀 | 傳感頭 | ||
光源 | DFB激光器 | 分辨率 | 1pm |
功率 | <400uW | 相對距離穩定性 | < 0.05nm |
波長(cháng) | 1535nm | 絕對距離精度 | <0.2nm/mm |
線(xiàn)寬 | <5MHz | 帶寬 | 25kHz |
傳感器通道 | 3 | 工作距離 | 0.1—20m |
光纖輸入端口 | FC Narrow-Key-Slot | 目標速度 | <1m/s |
Mating Sleeves | 傳感頭 | 真空 | |
同步 | 多臺設備同步 | 低溫 |