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應用領(lǐng)域 | 電子 | 多波長(cháng)動(dòng)態(tài)干涉儀 | 納米級相位分辨率 |
Kaleo MultiWAVE多波長(cháng)動(dòng)態(tài)干涉儀
【KALEO MultiWAVE 簡(jiǎn)介】
Phasics在光學(xué)計量領(lǐng)域持續創(chuàng )新,推出能夠兼顧測量透射波前誤差和反射波前誤差(TWE / RWE)的革命性新產(chǎn)品:Kaleo MultiWAVE動(dòng)態(tài)干涉儀。 直徑高至5.1英寸(130毫米)的鍍膜和未鍍膜的光學(xué)器件可在其工作波長(cháng)下直接進(jìn)行測量。 Kaleo MultiWAVE是購買(mǎi)多臺干涉儀或特殊波長(cháng)干涉儀的有效替代方案,擁有*性?xún)r(jià)比。 該系統同時(shí)可提供媲美Fizeau干涉儀測量精度,及動(dòng)態(tài)干涉儀的抗震性能。
【關(guān)于Phasics】
Phasics是一家專(zhuān)注于高分辨率波前傳感技術(shù)的法國公司。Phasics公司憑借其在測量方面的專(zhuān)業(yè)經(jīng)驗與*的波前測量技術(shù)為客戶(hù)提供全面的高性能波前傳感器。
一、 Kaleo MultiWAVE多波長(cháng)動(dòng)態(tài)干涉儀主要特點(diǎn)
紫外、可見(jiàn)光、近紅外、短波紅外、中遠紅外等任意多波長(cháng)定制
單臺干涉儀可集成多個(gè)工作波長(cháng)
納米級相位分辨率
超高動(dòng)態(tài)范圍 (>500 條紋數)
二、KALEO MultiWAVE 應用
光學(xué)元件及光學(xué)系統計量
三、KALEO MultiWAVE 測量案例
四、KALEO MultiWAVE 指標參數(1)
RMS重復性 (2) | < 0.7 nm (< λ / 900) |
測量精度 | 80 nm PV (3) |
動(dòng)態(tài)范圍(離焦值) | 500 fringes (SFE = 150 μm) |
可測反射率范圍 | 4% - 100% |
(1) 四英寸口徑,使用625 nm光源
(2) 在4英寸參考鏡上執行36次連續測量,每一次測量使用均化值為16次。 參考定義為所有奇數測量的平均值。 RMS重復性定義為RMS平均差值,加上偶數測量值與參考之間差值的標準偏差的2倍。
(3) 1 µm PV 離焦像差下