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微小區域薄膜厚度測量?jì)x

簡(jiǎn)要描述:微小區域薄膜厚度測量?jì)x-MPROBE 40 MSP,MProbe 40 測量薄膜厚度和折射率單擊鼠標在小地方。顯微分光光度計 (MSP) 集成在系統中同時(shí)結合顯微鏡,用于小點(diǎn)薄膜厚度測量。

  • 產(chǎn)品型號:MPROBE 40 MSP
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2022-04-13
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:1353
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微小區域薄膜厚度測量?jì)xMPROBE 40 MSP

微小區域薄膜厚度測量?jì)x-MPROBE 40 MSP

MProbe 40 測量薄膜厚度和折射率單擊鼠標在小地方。顯微分光光度計 (MSP) 集成在系統中同時(shí)結合顯微鏡,用于小點(diǎn)薄膜厚度測量,用于數千種應用程序,并提供完整的標準模型系列來(lái)支持它們。微小區域薄膜厚度測量?jì)x-MPROBE 40 MSP可以快速可靠地測量 1 納米到 2 毫米的厚度,包括多層薄膜堆疊。不同的模型主要由光譜儀的波長(cháng)范圍和分辨率來(lái)區分,這反過(guò)來(lái)又決定了可以測量的厚度范圍。



應用:

1. 測量圓柱或曲面上薄膜厚度:注射器、支架、銷(xiāo)釘、電線(xiàn)等。即使在高度彎曲的表面上,小點(diǎn)也會(huì )產(chǎn)生平坦的場(chǎng)以實(shí)現精確測量。

2. 不均勻、粗糙的涂層或光散射材料,如高霧度或納米粒子注入薄膜。小光斑定位測量有效地減少光散射和不均勻性的影響

3.圖案晶圓、MEMS 和其他需要高靈敏度領(lǐng)域的小區域測量的應用。


基本規格:

精度

0.01nm0.01%

準確度

0.2%1nm

穩定性

0.02nm0.03%

聚焦點(diǎn)尺寸

0.2mm0.4mm

樣品尺寸

>20mm

厚度范圍

0.05-70um

波長(cháng)范圍

400-1000nm


選型列表:

MProbe 40

波長(cháng)范圍

厚度范圍

VIS

400nm -1100nm

10nm – 75 μm

UVVISSR

200nm -1100nm

1nm -75μm

VISHR

700nm-1100nm

1μm-400μm

NIR

900nm-1700nm

50nm – 85μm

UVVisF

200nm -1700nm

1nm – 85μm

UVVISNIR

200nm-800nm

1nm -5μm

NIRHR

1500nm -1550nm

10μm-1800μm (glass)4μm-400μm (Si)

*可根據要求設計定制探頭



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