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DLP/DMD光刻照明光源

簡(jiǎn)要描述:DLP/DMD光刻照明光源:昊量光電新推出LumiDLP光刻照明光源通過(guò)大面積提供高度均勻的通量密度為紫外DLP應用提供qian所wei有的速度和分辨率。模塊化設備結合了密集封裝的UV-LED陣列成為一種高效、非成像采集光學(xué)設備,集成了遠心成像光學(xué)優(yōu)化DLP芯片組。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2022-12-21
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:1570
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昊量光電新推出LumiDLP光刻照明光源通過(guò)大面積提供高度均勻的通量密度為紫外DLP應用提供qian所wei有的速度和分辨率。模塊化設備結合了密集封裝的UV-LED陣列成為一種高效、非成像采集光學(xué)設備,集成了遠心成像光學(xué)優(yōu)化DLP芯片組。

這款DMD光刻光源為基于DLP技術(shù)的具有挑戰性的曝光應用提供出色的UV-LED照明。特別是要求蕞高強度和多波長(cháng)光譜的設置非常適合。數值孔徑為0.2(光束角度±12°)和非常高的照明均勻性、這些構成DLP-芯片曝光的wan美解決方案。

DLP/DMD照明器提供高達30W的光輻射功率。單波長(cháng)和多波長(cháng)設置可供選擇(365nm、385nm、395nm、405nm)。這款DLP/DMD光刻照明光源提供的輻射功率與汞放電燈相當、但具有LED技術(shù)的壽命和總成本優(yōu)勢。此外、DLP/DMD光刻照明光源還可以很好地替代基于單色激光二極管(例如、LD405nm)的照明器。

LumiDLP光刻照明光源是專(zhuān)為DLP9000和DLP9500芯片設計的、可以輕松集成到基于DMD的系統中。


DLP/DMD 光刻照明光源產(chǎn)品亮點(diǎn):

  • 專(zhuān)為DLP®9000和DLP®9500設計

  • 包括高性能LED驅動(dòng)器、便于控制和編程

  • 高強度性能能夠縮短/減少處理時(shí)間

  • 由于頻譜寬廣、可以使用多種類(lèi)型的抗蝕劑

  • 不會(huì )過(guò)時(shí)的無(wú)汞光源



DLP/DMD 光刻照明光源產(chǎn)品規格:

輻射輸出功率
  • DLP9500蕞高30W

  • DLP7000蕞高20W

波長(cháng)配置
  • 365nm、385nm、395nm、405nm

  • Single and multi-wavelength setups available

光出口角
  • ±12°

  • 匹配DLP微鏡傾斜角度

照明均勻性和DMD芯片溢位
  • >90%均勻性

  • >10%溢位

熱管理
  • 液體冷卻設置

  • 快速連接、無(wú)泄漏耦合

  • 所需入口溫度≤25℃ <25°

使用壽命
  • >3000h

  • 模塊化、易于更換系統、蕞大限度減少停機時(shí)間

LED-驅動(dòng)器
  • 每個(gè)通道0-3A、每個(gè)LED陣列18個(gè)通道

  • 恒流、可調光、脈寬調制

外部接口
  • USB 2.0

  • 10/100Mbps以太網(wǎng)

  • RS-232 (TIA-232-F)

程序串行(USB)和遠程登錄(以太網(wǎng))通信命令集
尺寸和重量
  • 照明器:27.5cm×8cm×8.5cm

  • 驅動(dòng)器:23cm×29cm×4.5cm

重量
  • 照明器:~1.5kg

  • 驅動(dòng)器:~2kg




更多詳情請聯(lián)系昊量光電/歡迎直接聯(lián)系昊量光電

關(guān)于昊量光電:

上海昊量光電設備有限公司是光電產(chǎn)品專(zhuān)業(yè)代理商,產(chǎn)品包括各類(lèi)激光器、光電調制器、光學(xué)測量設備、光學(xué)元件等,涉及應用涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫療、科學(xué)研究、國防、量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、激光制造等;可為客戶(hù)提供完整的設備安裝,培訓,硬件開(kāi)發(fā),軟件開(kāi)發(fā),系統集成等服務(wù)。

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