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M-cat磁場(chǎng)均勻性檢測系統
昊量光電新推出M-cat 磁場(chǎng)均勻性檢測系統，可以快速精準的對濺射系統磁控管和磁棒的測量質(zhì)量精準控制。旋轉磁控管和可調磁棒可以在浮法玻璃鍍膜的濺射過(guò)程中進(jìn)行精確測量和分析及可靠地識別有缺陷的磁控管和磁棒?？梢蕴岣邔雍竦木鶆蛐圆⑶铱梢员苊鉃R射。
M-cat 磁場(chǎng)均勻性檢測系統主要介紹：
在玻璃或硅上濺射需要高質(zhì)量標準。即使沉積層厚度的微小波動(dòng)也會(huì )顯著(zhù)影響層的特性。用于窗戶(hù)和立面結構的浮法玻璃在顏色和透射特性方面可能會(huì )發(fā)生某些變化。作為太陽(yáng)能電池生產(chǎn)基礎的玻璃涂層厚度的變化會(huì )導致電性能的不對稱(chēng)。
濺射氣體的分壓或磁場(chǎng)可以改變層的特性。由于氣體成分的變化同樣會(huì )影響層的成分，因此對于層厚度的調整，僅可以應用磁場(chǎng)的控制和修改。
M-cat 磁場(chǎng)均勻性檢測系統以高精度表征管狀磁控管，使操作員能夠控制濺射裝置中的磁性元件。除了對磁體配置進(jìn)行精確測量和分析外，M-cat磁場(chǎng)均勻性檢測系統還為可調節磁控管提供幫助，為確保高可靠性，確定了磁控管的幾何形狀（偏轉)。
使用M-cat 磁場(chǎng)均勻性檢測系統可以增加：
過(guò)程可靠性，因為可以對新磁控管進(jìn)行進(jìn)貨檢驗，并且可以更早、更可靠地檢測到有缺陷的磁控管。
層厚度的均勻性，因為可以以可控方式設置可調磁控管，或者可以更容易地組合合適的磁控管。
靶材的使用壽命，因為可以避免成本密集型靶材的濺射。
M-cat 磁場(chǎng)均勻性檢測系統突出亮點(diǎn)：
獲取完整的磁場(chǎng)輪廓
可提供用于圓形陰極和扁平陰極磁控管的系統
可以在現有的制造過(guò)程中實(shí)施該系統
可微調磁控管微調輔助功能
高可用性
MHLS-線(xiàn)性霍爾傳感器主要技術(shù)指標：
在 1 分鐘內完成測量
場(chǎng)過(guò)程的圖形表示
檢測蕞小和蕞大磁場(chǎng)強度
以 CSV 格式存儲和導出單個(gè)測量系列的功能
可以記錄目標參數（直徑、偏轉）
微調可微調磁控管的輔助功能
長(cháng)度為 0.4 - 4.0m
磁場(chǎng)配置：33 個(gè)通道（X、Y、Z）+/- 1%
磁控管的幾何形狀（磁性功能部件的位置）：+/- 0.1mm
目標的幾何形狀（直徑、偏轉）：+/- 0.1mm
具有生命周期管理、各種視圖和設置選項的軟件
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關(guān)于昊量光電：
上海昊量光電設備有限公司是光電產(chǎn)品專(zhuān)業(yè)代理商，產(chǎn)品包括各類(lèi)激光器、光電調制器、光學(xué)測量設備、光學(xué)元件等，涉及應用涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫療、科學(xué)研究、國防、量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、激光制造等；可為客戶(hù)提供完整的設備安裝，培訓，硬件開(kāi)發(fā)，軟件開(kāi)發(fā)，系統集成等服務(wù)。
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