| 品牌 | 昊量光電 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應用領(lǐng)域 | 化工,綜合 |
空氣軸承系統——ALIO納米級高精度運動(dòng)系統
空氣軸承系統產(chǎn)品描述：
ALIO Industries推出了6-D Nano Positioning®空氣軸承運動(dòng)系統，6-D指運動(dòng)的6個(gè)維度；線(xiàn)性，直線(xiàn)度，平面度，俯仰，偏航和滾動(dòng)。Nano Precision 指的是在 +/- 450 nm 水平或以下的性能證明文件。6-D Nano Precision® 是指在納米級精度下運動(dòng)的身體的所有 6 個(gè)自由度的性能證明文件?？諝廨S承系統適用于制造、檢測/維修和計量等各種應用領(lǐng)域。ALIO Industries空氣軸承運動(dòng)系統，是一種用氣浮導軌或空氣軸承做支撐的精密運動(dòng)裝置，適用于下一代TRUE NANO®精密應用?？諝廨S承系統提供出色的定位性能，適用于高精度要求的應用?？諝廨S承系統適用于多個(gè)行業(yè)，包括光伏、半導體、噴墨沉積、光刻和光學(xué)檢測等領(lǐng)域。
空氣軸承系統——ALIO納米級高精度運動(dòng)系統產(chǎn)品特點(diǎn)：
零摩擦和無(wú)振動(dòng)的平滑移動(dòng)
速度穩定超高精度的移動(dòng)
運動(dòng)不產(chǎn)生顆粒，適用于無(wú)塵環(huán)境
軸承損耗低，表面不易損壞
定制二維平面 XY 空氣軸承系統
由于兩個(gè)軸都使用相同的高精度花崗巖底座作為參考，因此可以在數百毫米（甚至米）的行程范圍內實(shí)現僅一微米的平面度。
這種高剛性平面 xy 空氣軸承運動(dòng)系統系列提供亞微米精度和 +/- 100 納米雙向可重復性，即使在批量機器的批量生產(chǎn)中也是如此生產(chǎn)。憑借 200 毫米至 800 毫米的標準版本，以及可定制超過(guò) 3 米的 X 和 Y 行程，該產(chǎn)品系列在任何類(lèi)型的測量/計量應用和半導體行業(yè)中都具有True Nano®精度。
強大的線(xiàn)性直接驅動(dòng)器和空氣軸承使這些運動(dòng)系統非常適合高精度、高吞吐量的應用，這些應用需要平滑的連續掃描或非常長(cháng)距離的快速步進(jìn)和穩定過(guò)程。
定制空氣軸承平衡式Z軸位移臺（垂直位移臺）
ALIO 的直線(xiàn)電機驅動(dòng)、帶空氣軸承平衡的垂直 Z 升降平臺系列的特點(diǎn)是外形低矮且行程極長(cháng)。使用高精度交叉滾子軸承和線(xiàn)性編碼器，平臺配備無(wú)摩擦空氣軸承氣缸。與 GeoSymmetric 系列平臺類(lèi)似，這些長(cháng)行程 Z 平臺具有配重、電機、軸承和編碼器，所有這些都放置在平臺的大致中心線(xiàn)上。有效負載可以直接安裝到舞臺的表面。
Z-ABCB 系列——配備無(wú)摩擦空氣軸承氣缸平衡裝置——可在 200 毫米或以上承載高達 25 公斤的有效載荷。
定制空氣軸承旋轉臺
當需要很高的旋轉精度時(shí)，制造商可以從 ALIO 的空氣軸承旋轉平臺系列中進(jìn)行選擇?？諝廨S承允許載物臺在沒(méi)有機械接觸的情況下移動(dòng)，因此移動(dòng)無(wú)摩擦且無(wú)磨損。即使在高速或旋轉平臺垂直安裝時(shí)，擺動(dòng)、偏心或跳動(dòng)等誤差也盡可能消除，以接近平滑的 360 度運動(dòng)。
如果您對我們全新的空氣軸承系統感興趣，請與我們聯(lián)系，了解更多詳細信息。我們將為您提供定制的解決方案，滿(mǎn)足您的精密運動(dòng)和定位需求。
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