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相位偏折測量系統

簡(jiǎn)要描述:相位偏折測量系統相位偏折術(shù)或條紋反射法,是一種非接觸式、低成本、高魯棒性且高精度的面形測量技術(shù),絕對檢測精度可達10-20nm RMS,可以用于平面、球面、非球面、離軸拋物面、自由曲面等面型的高精度檢測。具有測量角度大、非接觸、精度高、速度快等特點(diǎn)。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-09-29
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:137
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相位偏折術(shù)/相位偏折測量系統


相位偏折術(shù)/相位偏折測量系統產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

 偏折測量技術(shù)(PDM)又稱(chēng)為相位偏折術(shù)或條紋反射法,是一種非接觸式、低成本、高魯棒性且高精度的面形測量技術(shù),絕對檢測精度可達10-20nm RMS,可以用于平面、球面、非球面、離軸拋物面、自由曲面等面型的高精度檢測。具有測量角度大、非接觸、精度高、速度快等特點(diǎn)。


 上海昊量光電設備有限公司近日推出市面上shou款商業(yè)化的共軸偏折術(shù)測量系統,具有操作方便,檢測精度高(<15nm RMS),應用范圍廣等特點(diǎn)。相位偏折測量 系統主要由ccd相機 、LCD顯示屏和待測件三個(gè)部分組成,系統配置如下圖。LCD顯示屏投射提前生成好的結構光正弦條紋,正弦條紋被待測鏡表面反射后發(fā)生畸變,CCD相機采集畸變后的條紋,再利用相位斜率映射關(guān)系從畸變的條紋圖中計算出待測鏡梯度信息,再根據基梯度數據的面形重構算法,重建出待測鏡的面形。



圖1 偏折術(shù)測試系統



偏折術(shù)系統(PMD)產(chǎn)品優(yōu)勢:

  • 檢測精度高:<15nm RMS

  • 測量范圍寬:能夠測量平面、球面、非球面、離軸拋物面、自由曲面等;

  • 對環(huán)境噪聲不敏感:具有非常強的抗環(huán)境干擾;

  • 系統搭建簡(jiǎn)單、性?xún)r(jià)比高:使用商業(yè)化的配件,對成像光路沒(méi)有特殊要求。


相位偏折術(shù)/相位偏折測量 系統測試案例:

圖2 平面鏡(λ/10)檢測


圖3 球面鏡(Thorlabs ,CM508-500-G01)檢測

圖4 離軸拋物面檢測


圖5 ONERA公司TMA自由曲面檢測(右側為LUPHOScan輪廓儀測試結果)



相位偏折術(shù)/相位偏折測量 系統產(chǎn)品應用:


隨著(zhù)工業(yè)制造業(yè)發(fā)展,我國在航空航天、裝備制造、汽車(chē)工業(yè)、生物醫學(xué)與通信和微電子高科技等領(lǐng)域方面對鏡面和鏡面類(lèi)等零件需求越來(lái)越大,其已經(jīng)成為了我國在通信行業(yè)的關(guān)鍵零件之一。制造過(guò)程中有一道必要工序就是面形檢測,目前的常用檢測方法存在檢測效率低,檢測精度不滿(mǎn)足要求等問(wèn)題,隨著(zhù)上海昊量光電設備有限公司相位偏折測量 系統(偏折術(shù))推出,可以有效助力我國的科技項目。


相位偏折測量系統


關(guān)于昊量光電:

上海昊量光電設備有限公司是光電產(chǎn)品專(zhuān)業(yè)代理商,產(chǎn)品包括各類(lèi)激光器、光電調制器、光學(xué)測量設備、光學(xué)元件等,涉及應用涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫療、科學(xué)研究、國防、量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、激光制造等;可為客戶(hù)提供完整的設備安裝,培訓,硬件開(kāi)發(fā),軟件開(kāi)發(fā),系統集成等服務(wù)。


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