| 品牌 | 昊量光電 | 應用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|
同步源測系統RTM2-制樣無(wú)需復雜光刻（樣機可試用）
昊量光電全新推出的同步源測系統RTM2。利用同步源測系統RTM2的集成開(kāi)關(guān)矩陣實(shí)現無(wú)限的精度和穩定性用于片狀、霍爾和電阻張量的測量。
同步源測系統RTM2具有高精度的霍爾效應測量，無(wú)需光刻圖案，適用各種形狀樣品。測量電阻范圍從Nano-Ohm 到Tera-Ohms，高達8位以上動(dòng)態(tài)范圍。
集成多功能開(kāi)關(guān)矩陣結構，可取代鎖相放大器、源測量單元、數字萬(wàn)用表和模擬矩陣開(kāi)關(guān)。
同步源測系統RTM2-制樣無(wú)需復雜光刻主要功能：
同步源測系統RTM2專(zhuān)為自動(dòng)精密測量電阻和相關(guān)量而設計。半導體參數分析儀RTM2將直流和交流測量與集成開(kāi)關(guān)矩陣結合在一起。
同步源測系統RTM2具有鎖定放大器的低噪、具有萬(wàn)用表 8 位以上的動(dòng)態(tài)范圍和較好的穩定性，可研究 ppb 級效應。nΩ研究變得所未有的簡(jiǎn)單。
創(chuàng )新的連接器設計允許傳統的 BNC 操作與被動(dòng)屏蔽或主動(dòng)防護屏蔽。這將直流阻抗上限擴展到了 Tera-Ohm 范圍，并將交流帶寬提高了約兩個(gè)數量級，以測試MΩ器件。
同步源測系統RTM2只需一臺設備就能自動(dòng)記錄完整的電阻張量（Rx、Ry、RH），即使是在無(wú)圖案的薄膜上。
同步源測系統RTM2可用于材料研究、薄膜表征以及傳感器、晶片和設備測試。在快速多路復用設置中進(jìn)行交流測試的能力，可在現場(chǎng)生產(chǎn)過(guò)程中實(shí)現更嚴格的元件分選。
同步源測系統RTM2開(kāi)關(guān)矩陣的優(yōu)點(diǎn)：
萬(wàn)用表或鎖相放大器等傳統精密設備依賴(lài)于與被測設備（DUT）靜態(tài)連接的四線(xiàn)電阻測量方法。這種方法不可避免地會(huì )受到來(lái)自被測設備和測量設備本身的各種干擾影響。
惠斯通電橋或平版印刷霍爾條圖案等測量安排可用于減少某些干擾的影響，但它們都依賴(lài)于實(shí)際電阻器或蝕刻圖案的精確和穩定的對稱(chēng)性，這在實(shí)踐中是無(wú)法實(shí)現的。
相比之下，矩陣開(kāi)關(guān)可以在時(shí)域中分離干擾的影響。其中一個(gè)例子是van-der-Pauw范德堡方法，它可以精確區分縱向和橫向電阻，即使是在沒(méi)有光刻圖案的不規則形狀樣品上也是如此。
另一個(gè)例子是某些直流儀表采用的 "自動(dòng)歸零（auto-zeroing）"，以補償偏移漂移。但這還不夠。同步源測系統RTM2的全矩陣切換功能及其與緊密多路交流測量的兼容性為我們帶來(lái)了無(wú)限可能。
可以對偏移和增益漂移進(jìn)行補償，從而實(shí)現無(wú)限的穩定性。這里的 "無(wú)限 "是字面意思：可實(shí)現的精度不是 7、8 或 10 位數，而是您愿意等待的位數。在自己的實(shí)驗室里進(jìn)入計量圈子吧！
還可以對整個(gè)儀器的復合非線(xiàn)性進(jìn)行補償。這樣就可以測試亞ppm 級的 I-V 非線(xiàn)性，從而在較低和較溫和的電流密度下看到更高階的傳輸物理。
同步源測系統RTM2突出亮點(diǎn)
基于集成開(kāi)關(guān)矩陣的可重構設備架構
8 個(gè)用戶(hù)自定義端口（BNC 連接器），功能（輸入、輸出和/或參考）可自由確定
BNC 屏蔽可配置為無(wú)源接地或有源屏蔽
使用固定連接（開(kāi)爾文或霍爾幾何）進(jìn)行傳統的交流和直流 4 線(xiàn)測量
交替連接的交流和直流測量（電阻張量測量、范-德-波測量或電阻率測量）
同時(shí)測量薄膜縱向和橫向電阻的精確絕對值，無(wú)需光刻圖案
常用測量模式的軟件預設，可任何用戶(hù)特定的切換序列
基于 TCP 的通信，可輕松集成到任何環(huán)境中（如 Labview、C、Python）
同步源測系統RTM2主要的優(yōu)勢：
可替代所有用于電氣特性測量的標準設備(例如鎖定放大器、SMU、DMM）
通過(guò)集成的矩陣開(kāi)關(guān)克服了靜態(tài) 4 點(diǎn)測量的局限性
提供范-德-波測量和電阻張量測量的預設值，并允許用戶(hù)進(jìn)行全面配置
無(wú)需進(jìn)行復雜的樣品制備（如平版印刷）。
可輕松連接多種不同的測量裝置（如探針臺、低溫恒溫器、真空系統等）
節省測量時(shí)間，提高樣品吞吐量
同步源測系統RTM2主要的應用領(lǐng)域
材料研究與表征
固體物理
半導體物理
磁性器件
柔性電子器件
自旋電子學(xué)
新型功能電子材料和器件
工業(yè)研發(fā)和晶片/設備測試
微電子設備
存儲器
晶體管、二極管
LED/OLED
太陽(yáng)能電池
顯示器、TCO
傳感器
同步源測系統RTM2典型測試示例：
在標準幾何結構（開(kāi)爾文和霍爾布局）中進(jìn)行超低噪聲、高穩定性交流和直流 4 線(xiàn)測量
對不規則、無(wú)結構薄膜樣品進(jìn)行范德保開(kāi)關(guān)連接 4 線(xiàn)測量
基礎物理學(xué)和計量學(xué)中的亞ppm 相對變化和非線(xiàn)性測量
零偏移霍爾 4 線(xiàn)測量（即使是非結構化樣品，也能準確分離縱向電阻和橫向電阻）
比率電阻測量，消除樣品和設備漂移
高驅動(dòng)諧波失真測量
脈沖和測量例程
同步源測系統RTM2軟件界面：
同步源測系統RTM2規格參數：
同步源測系統RTM2產(chǎn)品示意圖：
設備前面板包括：1. 8個(gè)BNC端口，用于多個(gè)模擬功能：驅動(dòng)、感測、參考相位鎖定。2. LED指示燈，用于指示端口功能：輸入（白色箭頭）或輸出（藍色箭頭）。3. 冷卻風(fēng)流入口（請勿阻擋）。4. 便于攜帶和機架安裝的把手。5. 19英寸機架安裝孔。
設備后面板包括：6. 2個(gè)BNC端口，用于多個(gè)數字功能：觸發(fā)、閾值檢查、PWM。7. 以太網(wǎng)連接器，用于主要的TCP通信。8. 帶保險絲和開(kāi)關(guān)的主電源插口。9. 設備信息顯示。10. 冷卻風(fēng)流出口（請勿阻擋）。
同步源測系統RTM2技術(shù)參數：
電氣規格
模擬輸出 | |
對稱(chēng)輸出 | DC to 60 kHz, ±20 V, ±200 mA |
輸出噪聲底限 | < -150 dBFS |
積分非線(xiàn)性誤差 | 5 ppm |
時(shí)間分辨率 | 2µs脈沖和任意波形模式 |
開(kāi)關(guān)矩陣 | |
矩陣大小 | 8接口x 4模擬功能 |
大開(kāi)關(guān)頻率 | 1 kHz |
開(kāi)關(guān)電阻 | 2.5 ?, SNS: 5.0 ? |
浮動(dòng)列阻抗 | 0.5 T? || 5 pF |
測量 | |
BJT輸入（SNS+和SNS-的復合） | 1.5 nV/√Hz, 2500 fA/√Hz |
FET輸入噪聲（SNS+和SNS-的復合） | 8 nV/√Hz, 2 fA/√Hz |
FET輸入負載 | <1 pA, 0.1 pA/V, 8 pF |
電阻測量噪聲底線(xiàn) | 10 nΩ/√Hz（直接BJT輸入） |
<1 nΩ/√Hz（變壓器耦合的FET輸入） | |
增益變化 | 100 ppm/K |
<1 ppm/K（比例模式） | |
1 ppb（在有熱穩定參考的比例模式） | |
直流偏置電壓變化 | ±1 μV/K, ±3 ppm/K |
<0.1 ppm/K (差分模式) | |
范圍 | |
串聯(lián)電阻 | 4, from 100 ? to 20 M? |
輸出電壓測量 | 4, log, from 20 V to 2 V |
輸入電壓測量 | 8, log, from 20 V to 100 mV |
電流測量 | 4 per resistor, log, from 200 mA to 100 nA |
在范圍內的基本精度 | <1 ppm滿(mǎn)量程，用于輸出電壓和電流 |
<0.1 ppm滿(mǎn)量程，用于輸入電壓 | |
在一個(gè)范圍內的連續動(dòng)態(tài)范圍 | > 8 digits |
相位和頻率同步 | |
輸出端口 | 任何一個(gè)前端BNC端口 |
輸入端口 | 固定:任何前端的BNC |
動(dòng)態(tài):跟隨任何模擬函數 | |
同步范圍 | 2 Hz到50 kHz，任意相移 |
波形類(lèi)型 | 輸出：正弦波 |
輸入：任意信號(鎖定到主導頻率) | |
數字I/O端口 | |
信號電平 | 單端3.3V cmos邏輯，正極觸發(fā) |
帶寬 | 10 MHz |
輸入函數 | HI/LO，觸發(fā)(解調或脈沖產(chǎn)生)，pwm -模擬計數器，聯(lián)鎖 |
輸出函數 | HI/LO，同步脈沖(開(kāi)始解調或脈沖產(chǎn)生)，模擬- pwm輸出，限位指示 |
時(shí)間延遲 | < 100 ns(到數字I/O功能) |
< 50 µs(模擬I/O功能) | |
輸出脈沖形狀 | 100µs HI脈沖，否則為L(cháng)O |
硬件/安裝
大小 | 19英寸機架安裝設備，2個(gè)高度單位，32厘米深度 |
功率需求 | <75 W，通用AC單相AC輸入，C14連接器 |
操作范圍 | 0°C - 50°C，無(wú)冷凝濕度 |
前端連接器 | BNC, 50 Ω型，防護罩可切換為防護罩或底盤(pán) |
后端連接器 | BNC, 50 Ω型，屏蔽連接到機箱 |
通訊端口 | 以太網(wǎng) |
制冷 | 增壓氣流從前到后 |
前端LED指示燈 | 操作，通道選擇，都是可調的和可分離的 |
同步源測系統RTM2貨物清單：
Tensormeter RTM2 19英寸機架安裝設備
軟件包，包括LabVIEW和Python的客戶(hù)端代碼示例（無(wú)需驅動(dòng)程序）
Tensormeter RTM2用戶(hù)指南，包括TCP命令、操作參數指南
帶F型連接器的主電源電纜（根據需要提供其他類(lèi)型）
以太網(wǎng)電纜
關(guān)于昊量光電：
上海昊量光電設備有限公司是光電產(chǎn)品專(zhuān)業(yè)代理商，產(chǎn)品包括各類(lèi)激光器、光電調制器、光學(xué)測量設備、光學(xué)元件等，涉及應用涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫療、科學(xué)研究、國防、量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、激光制造等；可為客戶(hù)提供完整的設備安裝，培訓，硬件開(kāi)發(fā)，軟件開(kāi)發(fā)，系統集成等服務(wù)。
上海市徐匯區虹梅路2007號6號樓3樓
info@auniontech.com
