空間光調制器的定標通常利用干涉場(chǎng)的條紋移動(dòng)來(lái)量化驅動(dòng)電壓和位相調制能力之間的關(guān)系,然而干涉需要多光路實(shí)現記錄。多光路干涉系統抗外界環(huán)境干擾的能力較差,易造成較大的測量誤差,低的定標精度制約了空間光調制器在gao端應用場(chǎng)景的功能發(fā)揮。規避多光路干涉的另一個(gè)方案是共光路的自干涉結構,通過(guò)加載多個(gè)波面實(shí)現在探測面上的自干涉記錄,與此同時(shí)保留了傳統定標中對條紋圖的處理算法。但空間光調制器作為一類(lèi)衍射元件,天然存在的零級背景光會(huì )降低自干涉圖的信噪比,依然會(huì )降低空間光調制器的定標精度。
針對以上問(wèn)題,課題組巧妙地將零級背景光轉化成信號光使用,這一新理念不僅保留了標準條紋法的優(yōu)點(diǎn),同時(shí)又實(shí)現了自干涉單光路結構的光學(xué)功能,評審專(zhuān)家認為該方法簡(jiǎn)單易實(shí)施。定標方案一方面利用了大小圓的衍射斑差異,另一方面規避了自干涉光路低信噪比的缺點(diǎn)。課題組基于該方法對公司提供的位相型空間光調制器實(shí)施了標定操作,同時(shí)和其它常規的標定方法進(jìn)行了多輪對比驗證,結果表明,該空間光調制器定標方案相比于現有方法更加簡(jiǎn)潔有效,并且精度更高。此外,該理念可以推廣應用于其他測量方案,為光學(xué)測量領(lǐng)域拓展新思路開(kāi)辟新方法。